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Dipartimento di Fisica

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eSEM microscope

Laboratorio di Microscopia Avanzata ()

Il laboratorio di Microscopia Avanzata (Laboratorio CNR-INFM Lycril) č utilizzato dai membri del gruppo SPES per lo studio congiunto delle proprietā elettroniche, chimiche, morfologiche e strutturali di campioni.

L'apparecchiatura consiste di un microscopio elettronico a scansione e un microscopio elettronico in trasmissione.

Il microscopio elettronico a scansione č un modello QUANTA FEG 400 F7 (FEI), equipaggiato con detector di elettroni secondarti, sensore di elettroni retrodiffusi, Energy Dispersive X-ray Analyser (EDX, 0-40 keV), stage con controllo temperatura campione (-20°C/60°C ed RT/800°C), modalità operativa ambientale per l'imaging in pressione controllata di gas fino a 80 mbar.

Il microscopio permette di studiare la morfologia della superficie di campioni con risoluzione fino a 5 nm. La presenza di un detector di raggi X di fluorescenza rende possibile un analisi chimica con risoluzione spaziale micrometrica.

Il microscopio può operare in modalità eSEM (environmental SEM), ovvero a pressioni fino a 20 mbar, permettendo lo studio morfologico di campioni non conduttivi o biologici senza richiedere la metallizzazione preventiva.

Il microscopio è stato anche usato per esperimenti in-situ (riscaldamento, esposizione a gas, condensazione d'acqua).

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